Ученые из Нижнего Новгорода создали технологию очистки кремния для чипов

Работа над проектом ведется с 2024 года в рамках программы «Приоритет-2030». Ученые из лаборатории инженерной химии НИИ химии ННГУ уже подготовили технологическую линию и регламент получения продукта. Полученные наночастицы отличаются высокой однородностью и стабильностью, что позволяет использовать их в процессах химико-механической полировки, где требования к чистоте материалов максимально жесткие.

Ксения Отвагина, руководитель исследования, пояснила, что создание собственных материалов с контролируемыми характеристиками снижает зависимость отрасли от импортных поставок. Сейчас разработка проходит стадию опытно-технологической отработки и тестируется индустриальным партнером. Ректор вуза Олег Трофимов отметил, что успех проекта доказывает эффективность университетской науки в решении прикладных задач по созданию полного цикла производства микроэлектроники.